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그린광학

측정/평가

장비 측정 스펙   

 

 

간섭계 : 평면/실린더/곡률 측정 (CX ≤ 700, CC ≤  1000)

 

- RMS Simple Repeatability <0.06nm, λ/10,000(2σ)

- RMS Wavefront Repeatability <0.35nm, λ/1,800(mean + 2σ)

- Peak Pixel Deviation < 0.5nm,  λ/1,200 (99.5%)

- Pupil Focus Range 4inch

 

 

3차원 측정기 : 평행도/평면도/직각도/진원도 측정

 

- Resolution(um) : Standard 0.5, High Acuuracy 0.1

- Maximum Permissible : Standard 3.5 +L/300, 3.5, High Accuracy 3.0 + L/300, 3.0

 

 

프리즘 마스터 : 각도측정

 

- Electronic autocollimator : EFL 300mm, Diameter 57mm 

- Accuracy of the autocollimator : Resolution 0.01' Repeatability ± 0.1

 

 

표면조도측정 :표면 거칠기 측정(Ra)

 

- 10x, 50x, 100x 측정 가능

- Vertical Scan Range

- 150um, Extended scan range to 20mm

- Vertical Resolution < 0.1mm

- Lateral Resolution 0.36 to 9.50 um

- RMS Repeatability <0.01 nm

 

 

분광기: 투과율/ 반사율/(절대반사)/ 흡수율 측정

 

- 사용 파장 영역 190~2800nm / 250~2500nm (with Auto Polarizer)

- 투과율 0도~85도

- 측정오차 (10회 반복측정시) <0.1%

 

 

Mahr LD 260 : 평면/ 비구면/ 실린더/ 형상 및 거칠기 측정

 

- 프로브 측정범위

(1) 13mm (100mm 프로브암)

(2) 26mm (200mm 프로브암)

 

- Tracing Force : 0.5 - 30mN

- Drive X축의 불확도 : ± 0.2*L1000um

- 측정시간 : 5~10 min

- 측정범위/분해능(Z축) 13mm/ 0.8nm

- 최소 측정거리(X축) 0.05-30 um

- 위치 정밀도 : 0.1 um

 

 

ASI : 평면/ 비구면/ 곡률 측정 (CX 550/ CC 700)

 

- 반복성 ≤ 10nm (λ/60) rms

- 재현성  ≤ 20nm (λ/30) rms

- 정확도  ≤ 30nm (λ/20) rms

- 지름 ≤ 300mm 측정 가능

 

 

 

 

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